用于半導(dǎo)體熱處理工藝的ppm級微氧測量系統(tǒng)

德國MESA微氧測量系統(tǒng)，專用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的熱處理工藝。

德國MESA微氧測量系統(tǒng)是通過抽取氣體到特制測量室，然后通過Lambda探頭在穩(wěn)定受控的溫度下進(jìn)行微氧測量的精密系統(tǒng)，可以輸出模擬信號對應(yīng)ppm氧含量。

量程：   0…5 / 10 / 100 / 10000 ppm

精度：   ± 1 % FS

優(yōu)勢：   四點校正

輸出：   0 (4)…20mA 或 0…10V

產(chǎn)地：   德國 （ISO 9001 : 2015認(rèn)證）

適用行業(yè)： 半導(dǎo)體

主要客戶： Mattson

德國MESA微氧測量系統(tǒng)采用氧化鋯探頭（Lambda探頭）設(shè)計，可以保持在恒定600℃測量，不受爐內(nèi)溫度影響，Lambda探頭工作狀態(tài)穩(wěn)定，使用壽命比其它同類產(chǎn)品更長，實際使用壽命可到10年之久；

德國MESA微氧測量系統(tǒng)，每一個Lambda探頭均有其獨特的零點漂移系數(shù)K1和溫度補償系數(shù)K2，從而使智能電源輸出的測量信號更為精準(zhǔn)。量程和輸出類型可選。亦可將測量結(jié)果通過RS232/RS485等接口連接至上位機，實現(xiàn)集中控制功能。